不断的追求镜片加工极限,就是光刻机提高工艺水平的主流选择。这也是为什么全世界只有三家光刻机生产商。而最为著名的就是日本尼康和荷兰阿斯麦l)。尼康本身就是日本战前做潜艇潜望镜的厂家,后来则是相机业的霸主。而阿斯麦的镜头则来自于卡尔蔡司,这家公司干嘛的就不用说了,地球人都知道。光刻机离开了这两家光学企业,什么摩尔定律都得去见鬼。
当然,这并不是说就没有其他办法来提高工艺条件了。除了镜头,实际上使用何种光源也会导致线宽的不同。不同波长的光波,就如不同规格的刻刀。波长越短的光波,就能够在光刻胶上留下越细的痕迹。最早的光刻机因为加工精度不高。使用的汞灯只能提供365nm的i线光。后来更换了准分子激光之后,光波才降低到了193nm的激光。
未来想要缩小刻蚀的分辨率,甚至还要继续上14nm的极紫外光。至于10纳米以下,可能人类的科技就已经研究出其他的加工方式了吧。
当然这些只是不准确的科普说法,如果具体要解释一下光波和刻蚀分辨率的关系,或者解释一下照准系统的最大分辨率概念之类的……
本书的长度恐怕会有些不足,以及略有骗稿费的嫌疑。虽然这些知识如果真的讲出来千字3分就太便宜了。本着经不轻传的道理(其实作者也不懂)就不多说了。
言归正传,涂岸北脑海中灵光一现,正是水的一种特性。那就是光通过液体介质后光源波长就会缩短。其缩短的倍率即为液体介质的折射率。也就是说光刻机的光源如果在照射到光刻胶之前先在水中穿行一次,就相当于换了一个更细的刻刀。
而水
第二百六十四章 水的奥秘(2/6)